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ICPOES 720ES 顯示 ws異步諾誤 F F60304 炬營點火失敗, 排查電源,電源板,點火板,氣控板 ,功率管 ,做好儀器清潔維護
720ES 報錯 F60304+“炬管點火失敗”一次排完
一、先判斷“軟件報錯”還是“真點不著”
重新開機 → Plasma → Manual Ignite
若 3 s 內(nèi)就彈出 F60304,無“噠噠”高壓聲 → 重點查“點火板/高壓箱”
若聽見噠噠聲、有橙紅絲但 1-2 s 熄滅 → 重點查“外圍氣水風+RF 功率鏈”
二、外圍 4 步 (排除 60% 假故障)
Ar ≥99.995%,瓶壓 ≥5 MPa;換瓶后放空 2 min
冷卻水 18-22 ℃,流量 ≥4 L min?1;電導(dǎo)率 <2 μS cm?1
抽風 8-12 m s-1,風閘確認閉合
炬管、霧化器、廢液管重新安裝——“手擰-推-拉”三步檢漏
以上做完再次點火 → 仍 F60304 則進入硬件板級排查
三、板級快速量點(工具:萬用表+高壓棒)
| 板號 / 關(guān)鍵測試點 / 正常值 / 常見失效件 / 現(xiàn)場處理
| 1. 主電源板 113-00109-1 / TP380 VDC 對地 /380 ± 20 V | 5 A/15 A 保險斷、PFC 模塊擊穿 /換保險/整板 Exchange
| 2. 燈絲驅(qū)動板 113-00110-1 / 輸出端子 AC 0-6 V(點火 2 s)/5.5 ± 0.5 V | IRFP460 擊穿、3 A 保險熔 /換 MOSFET+保險
| 3. 高壓調(diào)整板 113-00108-1 / L3 色環(huán)電感通斷 / <1 Ω / L3 開路 → 無 HV / 換 L3 或整板
| 4. 6 kV 高壓子板 113-00107-1 /高壓棒測輸出 / 6 ± 0.5 kV | 高壓二極管擊穿 / 國產(chǎn) 2CL77
| 5. RF 功率管(陶瓷三極管) / 燈絲電阻 / 0.9-1.2 Ω | 開路或短路 / 換管并重新匹配
量順序:先 380 VDC → 再燈絲 6 V → 再 6 kV → 最后 RF,避免重復(fù)拆板
四、點火線 & 振蕩箱目測(放電聲弱/爆鳴必查)
點火線瓷頭裂紋、碳跡 → 用無水乙醇+棉簽清潔,破損處包 3M 高壓膠帶或整根換新
振蕩箱內(nèi)高壓線圈 120-00390-2 表面焦黑 → 換線圈;同時檢查 1000 pF/200 pF 電容 205-7210 是否擊穿(萬用表 20 M 檔應(yīng) ∞)
絕緣塊 303-00510 爬電 → 用細砂紙打磨+異丙醇沖洗,仍擊穿則更換
五、深度清潔維護(一次做全,預(yù)防再犯)
拆下炬管、霧化器、霧室 → 3% 王水超聲 10 min → 超純水沖凈 → 烘干
用高壓 N2 吹掃光室與排風口,灰塵是高壓爬電元兇
泵管、進樣毛細管一次性換新,防止鹽析堵塞導(dǎo)致廢液背壓滅弧
風箱濾網(wǎng)水洗晾干,保證 RF 功率管散熱 <45 ℃
六、參數(shù)復(fù)位 & 驗證
Service → Plasma → Restore Default,功率 1.20 kW、冷卻 15 L min?1、輔助 1.0 L min?1、霧化 0.70 L min?1
波長校準 Ho 玻璃 4 峰,誤差 ≤ ±0.1 nm
靈敏度測試 5 ppm Mn 257 nm,RSD <1%,檢出限 <0.5 ppb
記錄 Forward/Reflected 功率,Reflected 必須 <10 W
400-800-3875
li.qiu@spcctech.com
廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)金興路419號703室(鑫龍盛科產(chǎn)業(yè)孵化園A3棟7樓)
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