合作伙伴：江西某半導(dǎo)體新材料公司

儀器類型：電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

品牌：安捷倫

型號：ICP-OES 5800VDV

2025年09月05日， 再次衷心感謝江西某半導(dǎo)體新材料公司的信任與支持！貴司再次選購的安捷倫電感耦合等離子體質(zhì)譜儀5800VDV ICP-OES已順利完成安裝調(diào)試與培訓(xùn)。

ICP-OES 5800VDV電感耦合等離子體質(zhì)譜儀具備同步垂直雙向觀測（SVDV）等功能，專為嚴(yán)苛半導(dǎo)體材料分析而生，助力客戶品質(zhì)控制與研發(fā)創(chuàng)新。感恩再次選擇，譜標(biāo)將繼續(xù)以專業(yè)技術(shù)與服務(wù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)賦能！

Agilent 5800VDV：半導(dǎo)體級 ICP-OES 的“速度+精度”雙引擎

一、SVDV 同步垂直雙向觀測 —— 一次讀數(shù) = 軸向 + 徑向雙重信號

軸向光程長，檢出限低（ppb 級）

徑向基體耐鹽高，可減少 90% 易電離元素干擾

同步采集，無需重復(fù)進(jìn)樣，產(chǎn)能直接翻倍

二、半導(dǎo)體硬核配置

高純石英炬管 + Pt 錐接口，空白 Al＜1 ppb、Fe＜0.5 ppb

冷等離子體模式，K、Na 背景＜0.2 ppb，滿足 SEMI G5 級高純試劑

耐 HF 基體進(jìn)樣系統(tǒng)（PFA 霧化器、惰性炬管），直接測 BOE、磷酸蝕刻液

密閉風(fēng)箱光室，N2  purge ≤ 5 min，遠(yuǎn)紫外（167 nm）測 Al、P、S 更靈敏

三、ICV/CV 自動 QC 策略

"IntelliQuant" 360° 全譜掃描，一次曝光即可識別 70+ 雜質(zhì)，誤差＜5%

內(nèi)置 SEMI/GB/T 模板，自動輸出 "Pass/Fail" 報告，QC 失敗即刻停泵并郵件報警

方法開發(fā)向?qū)В狠斎牖w與目標(biāo)限，儀器自動推薦波長、內(nèi)標(biāo)與背景校正點，10 min 生成 SOP

四、產(chǎn)能與成本實測

高純硫酸（H2SO4 98%）中 20 元素，檢出限 0.3-3 ppb，樣品通量 120 個/班

與 5100 單軸向相比，氬氣節(jié)省 30%，炬管壽命延長 40%，年度耗材成本 ↓ 約 1.8 萬元

五、典型半導(dǎo)體應(yīng)用場景

高純濕電子化學(xué)品 —— HF、H2O2、H2SO4、IPA 中 35 元素 ≤ G5 級

硅片/晶圓表面 —— 全反射 XRF 前處理浸提液，F(xiàn)e/Ni/Cu/Na 污染監(jiān)控

CMP 拋光液 —— Al2O3、SiO2 漿料中 Na、K、Ca、Mg 雜質(zhì) ≤ 50 ppb

光刻膠與溶劑 —— PGMEA、NMP 中 Li、B、P、S 超低背景檢測

靶材與電子陶瓷 —— ITO、Ti、Ta、Co 靶中痕量 U/Th（<0.1 ppb）放射性控制

六、一鍵開機(jī) + 遠(yuǎn)程診斷

"Plug & Ignite" 30 min 完成波長校準(zhǔn)與性能測試，網(wǎng)絡(luò)連接工程師在線診斷 > 80% 故障，停機(jī)時間＜4 h

選擇 5800VDV，讓 ppb 級雜質(zhì)無處遁形，為晶圓良率、靶材純度與工藝研發(fā)提供"即刻可判"的數(shù)據(jù)底氣！